一种芯片内部信号传输阻抗匹配测试设备

本发明涉及芯片测试技术领域，具体为一种芯片内部信号传输阻抗匹配测试设备，包括矢量网络分析模块和测试插座模块，所述测试插座模块的内部开设有惰性气腔和圆柱腔槽，所述惰性气腔和圆柱腔槽相互连通，惰性气腔的内部气体为惰性气体；本发明芯片内部信号传输阻抗匹配测试设备，在测试时主动控制探针部回缩，在芯片放置到位后，再控制探针部顶出建立测试连接，能够有效避免芯片的焊球触点与探针部发生硬性摩擦或碰撞。