一种射频功率消抖控制方法及相关设备

本申请属于射频电源控制技术领域，公开了一种射频功率消抖控制方法及相关设备，所述方法包括：实时采集射频电源的输出功率，得到实际功率值；计算设定功率值和实际功率值之间的功率偏差；若功率偏差的绝对值大于预设抖动阈值，则进入暂态缓冲过程；进入暂态缓冲过程后，将功率偏差的绝对值大于预设抖动阈值和小于等于预设抖动阈值的持续时间以及暂态缓冲过程的持续时间与对应的时间阈值进行对比，根据对比结果执行相应的应对操作；在退出暂态缓冲过程后，根据设定功率值和实际功率值之间的历史功率偏差，更新预设抖动阈值；能够有效应对射频电源输出功率的抖动，提高控制的稳定性和精度，具有暂态缓冲抗抖动能力和自适应调整能力。