一种柔性衬底薄膜加工流程控制方法及系统

本发明涉及柔性衬底薄膜制造控制技术领域，公开了一种柔性衬底薄膜加工流程控制方法及系统，所述方法包括：获取柔性衬底薄膜的初始加工方案，根据初始加工方案确定第一目标加工参数；根据第一目标加工参数对基材进行预加工，获取预加工过程中的基材参数变化序列，根据基材参数变化序列对第一目标加工参数进行动态调整，得到第二目标加工参数；获取加工过程中的实时基材参数范围区间，根据实时基材参数范围区间对第二目标加工参数进行优化，得到第三目标加工参数，根据第三目标加工参数对基材进行加工控制。本发明能够有效提升柔性衬底薄膜的加工精度，降低加工出现缺陷的概率，提升加工质量。