一种基于多源信息融合的微纳米结构热传导数值模拟方法

本发明公开一种基于多源信息融合的微纳米结构热传导数值模拟方法，针对微纳米结构所用的目标材料，利用本征散射模型从第一性原理计算的本征热导率数据中提取初步本征声子散射特性，基于初步本征声子散射特性对本征热导率进行数值模拟，通过结果对比优化本征散射模型参数，确定本征声子散射特性；利用非本征散射模型从实验样品热导率数据中提取初步非本征声子散射特性，基于本征声子散射特性和初步非本征声子散射特性对实验样品热导率进行数值模拟，通过结果对比优化非本征散射模型参数，确定非本征声子散射特性；基于本征声子散射特性和非本征声子散射特性，对目标材料的微纳米结构进行热传导数值模拟。本发明有助于提升半导体器件热设计准确性。