基于逆问题求解算法的光学散射法及其对批量样品的混合量测方法

本发明涉及光学量测技术领域，特指一种基于逆问题求解算法的光学散射法及其对批量样品的混合量测方法，包括如下步骤：对样品进行光测量得到实测光学信号；获取样品的先验结构信息；构建初始模型；利用严格耦合波分析对初始模型进行解析以生成仿真光学信号；判断生成的仿真光学信号与实测光学信号的差异是否满足设定要求；若是，则输出量测结果；若否，则对初始模型中的各参数进行梯度计算，利用自动微分算法，获得所有参数的梯度，进而利用参数的梯度对初始模型进行优化以得到优化后的模型，重复执行利用严格耦合波分析的步骤，直至满足设定要求为止。本发明能够提供更加细节的轮廓优化，还可以提高计算效率。