一种用于节能型半导体工业烘箱系统的控制方法

本发明提供一种用于节能型半导体工业烘箱系统的控制方法，包括：自动上料，AI智能主控中心控制上下料输送组件打开半导体工业烘箱的抽屉，码入物料盘，关闭抽屉；原料烘烤，热源组件输送高温气体至半导体工业烘箱中，加热半导体工业烘箱抽屉内的物料盘；自动出料，上下料输送组件打开抽屉，拍照确认物料盘数量和位置，逐个取出物料盘；自动出料后再上料，上下料输送组件抓取未烘烤的物料盘放入抽屉内，关闭抽屉，执行步骤2。本发明的有益效果：能够实现机械化全自动上下料，并自动控制程序升温和多段温度烘烤作业，同时记录烘烤数据日志，回收热能。