一种节能型的半导体工业烘箱系统

本发明提供一种节能型的半导体工业烘箱系统，包括AI智能主控中心与热源组件、废气处理罐、热能交换器、上下料输送组件、多个半导体工业烘箱控制连接，半导体工业烘箱设有烘箱高温气体进气口、烘箱常温气体进气口和烘箱高温废气排气口，热源组件与烘箱高温气体进气口连通，热能交换器设有交换器高温废气进气口、交换器常温空气进气口、交换器常温废气排气口和交换器高温空气出气口，烘箱高温废气排气口与交换器高温废气进气口连通，交换器高温空气出气口与烘箱高温气体进气口相连通，交换器常温废气排气口与废气处理罐相连通。本发明的有益效果为：能够净化处理高温废气并回收利用高温废气中的热能，提高生产效率，降低能耗。