芯片批量作业方法、系统、计算机设备和存储介质

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芯片批量作业方法、系统、计算机设备和存储介质
申请号:CN202510989451
申请日期:2025-07-17
公开号:CN120914135A
公开日期:2025-11-07
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种芯片批量作业方法、系统、计算机设备和存储介质。所述方法包括:在芯片生产过程中由制造执行系统下发芯片作业任务,基于芯片作业任务控制下货组件将多批载具依次下货至指定的芯片作业机台,芯片作业机台会上传每批载具对应的载具检测数据,对接收到的载具检测数据进行校验,待所有载具批次对应的载具检测数据都成功经过校验后,按照芯片作业任务中的工艺参数控制芯片作业机台对各批载具中的晶圆芯片同时进行批量作业处理,避免人工干预,以解决现有的芯片生产流程因为人为操作发生生产事故概率较高以及生产效率较低的问题。
技术关键词
作业机台 制造执行系统 设备自动化系统 批量 作业方法 数据 计算机设备 作业系统 参数 处理器 晶圆 指令 控制芯片 可读存储介质 连线 存储器 在线
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