光学邻近校正方法、仿真模型、电子设备及存储介质

本公开的实施例涉及光学邻近校正方法、仿真模型、电子设备及存储介质。该方法包括：对版图中的第一部分进行光学邻近校正以生成第一校正部分；基于第一部分的原始版图数据和第一校正部分的校正版图数据确定用于对第二部分的原始版图数据进行光学邻近校正的初始偏移值；基于初始偏移值对第二部分进行光学邻近校正以生成第二校正部分。本公开的技术方案能够显著提升计算效率、增强适用性并且能够减少训练成本。