一种硅烷储罐的压力控制系统

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一种硅烷储罐的压力控制系统
申请号:CN202510995190
申请日期:2025-07-18
公开号:CN120890029A
公开日期:2025-11-04
类型:发明专利
摘要
本发明涉及硅烷储罐技术领域,特别是一种硅烷储罐的压力控制系统,包括冷凝器,设置于所述储罐内部,用于将气相硅烷冷凝为液相硅烷,硅烷进气管,设置于所述储罐表面且位于冷凝器上方,第一流量调节组件,其用于根据储罐内部的气相压力大小调节冷凝器冷媒进口管线上的冷媒流量大小,第二流量调节组件,其用于根据硅烷进气管内的硅烷流量大小调节冷凝器冷媒进口管线上的冷媒流量大小。本发明通过压力变送器和调节阀的设置,当储罐内的压力变化时,控制器通过压力变送器的信号变化对应控制调节阀,不仅保证了储罐的正常运行,而且不需要改变硅烷出气的量,只需消耗一定量的冷媒即可,且冷媒通常可循环使用,从而降低了整个系统的运行能耗。
技术关键词
压力控制系统 硅烷 流量调节组件 冷媒 调节冷凝器 压力变送器 控制器 液位计 比例积分控制算法 检测储罐 信号 流量阀 气相 流量计 筒体 控制调节阀
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