一种洁净板表面缺陷检测方法及系统

本发明涉及表面缺陷检测技术领域，公开了一种洁净板表面缺陷检测方法及系统，其中，方法包括：获取原始灰度图像，基于导向滤波与局部统计增强进行变换分解；采用指数反变换与差分增强法进行分量融合；生成二值初步掩膜；提取颗粒缺陷特征并生成热力分布图。相较于现有技术中主要依赖全局高通滤波或固定阈值分割，尤其在洁净室、手术室或制药车间等光照条件极易波动、表面存在拉丝或压花复杂纹理的条件下，无法实现高可靠性颗粒污状物缺陷检测的技术问题，由于本申请通过引入基于导向滤波与局部统计增强，并结合多尺度形态学增强与几何特征筛选，能够有效抑制复杂纹理背景和不均匀光照影响，实现了微小颗粒缺陷的高灵敏度、高准确率检测。