摘要
本申请涉及电池生产领域,公开了一种掩膜更换装置,包括壳件,壳件具有腔体;旋转夹持组件,旋转夹持组件固定安装在腔体内顶壁,旋转夹持组件用于带动电池基底旋转;移载组件,移载组件位于旋转夹持组件一侧,移载组件带动掩膜移动与电池基底紧贴;旋转承载组件,旋转承载组件固定设置在腔体底部,旋转承载组件用于承载多个掩膜;搬运组件,搬运组件位于旋转承载组件一侧,搬运组件用于将旋转承载组件上的掩膜搬运至移载组件上;抽吸管,抽吸管设置在壳件上,抽吸管与腔体连通。本申请通过壳件形成密闭腔体配合抽吸管维持真空环境,利用旋转承载组件存储多片掩膜并由搬运组件自动取放,避免了反复破真空手动更换掩膜带来的污染问题。
技术关键词
旋转夹持组件
更换装置
承载组件
搬运组件
掩膜
直线驱动
磁控溅射组件
壳件
基片台
传动杆
腔体
驱动件
移动模组
夹持件
定位组件
基底
电池
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