摘要
本发明涉及芯片封装技术领域,具体地说是一种玻璃基板的结构及其制备方法。包括如下步骤:S1,提供玻璃,将玻璃研磨至指定厚度,得到玻璃芯板;S2,通过镭射激光开槽工艺,在玻璃芯板一侧表面的板边开两条细边槽;S3,通过3D打印技术,在细边槽内打印注入纳米复合材料涂层;S4,重复步骤S2‑S3,在玻璃芯板另一侧表面的板边开两条细边槽,并打印注入纳米复合材料涂层;S5,对玻璃芯板进行TGV打孔,并对孔壁进行粗化、去毛刺处理;S6,对TGV孔进行化镀、电镀、盖膜、蚀刻,得到含线路以及填孔完成的玻璃基板。同现有技术相比,通过镭射开槽、3D打印将纳米复合材料涂层制作成混合金属条框,设置在在玻璃基板板边,可以向板外泄力,不易碰撞产生微裂纹。
技术关键词
纳米复合材料涂层
玻璃基板
芯板
二氧化钛颗粒
底部填充胶
氧化锌颗粒
开槽工艺
导电结构
芯片封装技术
去毛刺
PI材料
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盖膜
表面涂布
凸点
微裂纹
蚀刻
电镀
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