摘要
本发明提供一种测试样品及其制备方法、电性测试方法,测试样品的制备方法包括:提供一待测试样品和载体片,对待测样品进行去层处理至目标器件层,载体片具有光滑的承载面;在承载面上涂抹银浆,以获得银浆层,银浆层包括主体区域和通道区域,通道区域具有连接端,连接端连接所述主体区域;将所述待测试样品固定在所述主体区域,以解决了导电性能差与接触电阻问题、高温样品漂移、高温污染严重、裸芯片样品制备困难和低温粘性失效等问题。
技术关键词
测试样品
电性测试方法
电性测试装置
自由端
载体
工作台面
通道
夹片
纳米探针
测试机台
涂抹
孔环
晶圆
抛光
芯片
电阻
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