基板搬运装置、搬运方法及基板处理装置

本发明提供了一种基板搬运装置、搬运方法及基板处理装置，基板搬运装置包括搬运机器人，搬运机器人包括手指模组，手指模组包括手指，手指包括固定组件和活动组件，所述固定组件和所述活动组件均具有第一夹紧件和第二夹紧件以及用于安装第一夹紧件以及第二夹紧件的承载件，活动组件的承载件位于第一位置时，固定组件的第一夹紧件和活动组件的第二夹紧件用于固定基板，活动组件的承载件位于第二位置时，固定组件的第二夹紧件和活动组件的第一夹紧件用于固定基板，该基板搬运装置能够满足使用手指的不同部位固定处理前、后的基板，减少或者避免了接触处理前基板的手指污染处理后的基板的概率，提高了产品良率。