一种晶圆机器人上料位置自动示教系统

本发明涉及晶圆搬运机器人的技术领域，具体涉及一种晶圆机器人上料位置自动示教系统，包括晶圆夹具和视觉系统，所述晶圆夹具的一侧设有晶圆搬运臂，所述晶圆搬运臂搬运晶圆硅片至晶圆夹具上，所述晶圆夹具上绕其中心点呈中心对称状设置有至少三个标志点，所述标志点位于同一水平面上，所述晶圆夹具的正上方设有相机，所述相机捕捉识别晶圆夹具和标志点，所述视觉系统接收相机的数据，并对其进行处理，本发明中，相机捕捉晶圆夹具上的标志点后，向视觉系统提供数据，使视觉系统根据标志点的位置计算出晶圆夹具的夹具中心位置，以将示教点位进行物理位置量化，以便于快速校准示教点位，节省示教时间。