一种光掩模3D缺陷检查装置及方法

本发明公开了一种光掩模3D缺陷检查装置及方法，包括建模单元、扫描单元和对比单元。建模单元通过AI算法与建模软件将光掩模产品图像数据进行建模形成3D模型；扫描单元在密闭腔室环境内对实物进行3D扫描；对比单元将3D模型和3D实物扫描后的结果进行重合对比，通过对比将异常位置准确标定出来。本发明采用波长更短的X射线和EUV光，可以满足更高等级产品的缺陷检查工作，通过全息影像3D对比的方式，可以检测到现有技术所不能发现的缺陷，提高缺陷检查的准确性和效率。