摘要
本发明公开提供了一种微流控进样装置及系统,包括:MEMS微流控芯片,所述进样通道一端与第一气流入口连接,另一端与所述定量环的输入端连接,所述第一排空通道一端与所述进样通道连接,另一端与所述第一气流出口连接,所述第二排空通道一端与所述第二气流出口连接,另一端与所述定量环的输出端连接,所述第一气控通道一端与所述第二气流入口连接,另一端分别与所述进样通道和第二排空通道连接,所述第二气控通道一端与所述第三气流入口连接,另一端与所述进样口连接,且所述第二气控通道中部通过分流管道与所述第二排空通道连接;压力控制组件,所述压力控制组件一端连接有载气输入管道,另一端分别与所述第二气流入口和第三气流入口连接。
技术关键词
微流控进样装置
压力控制组件
通道
压力控制器
气流出口
进样口
入口
微流控进样系统
气瓶
耐腐蚀材料
芯片
薄膜电阻
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管道
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