一种工艺模块数据预测和调整的方法、装置及存储介质

本申请涉及一种工艺模块数据预测和调整的方法、装置及存储介质，本申请通过获取工艺模块的多维数据，其中，所述多维数据包括用于薄膜沉积的参数；使用工艺模块的数据驱动模型对所述多维数据进行预测，其中，所述数据驱动模型由通过核主成分分析算法以及嵌套有人工鱼群算法的BiGRU模型训练构建得到；以及根据预测结果调整用于薄膜沉积的参数，其中，所述预测结果包括膜厚和沉积速率。从而提高了对沉积过程的预测精度，降低了实验成本和资源消耗，以及优化了薄膜沉积过程。