一种晶圆激光退火装置及方法

本申请涉及一种晶圆激光退火装置及方法，激光退火装置包括：激光器，用于发出激光光束，以对晶圆进行退火；及测温与反馈单元，用于实时监测所述晶圆的表面温度，以识别所述晶圆的温度异常区域，并根据算法输出指令以动态调控所述激光器的激光参数，以消除温度异常区域。本申请提供的晶圆激光退火装置及方法能够兼顾高效性、均匀性和成本可控性。