摘要
本发明涉及半导体设备技术领域,公开了一种丝网转移装置及控制方法,丝网转移装置,包括:安装盘、感应元件、抓取结构和控制器;通过在安装盘上设置感应元件,用以检测丝网的第一位置参数和/或陶瓷层的第二位置参数,使得能够对丝网和陶瓷层进行精确定位,通过配合设于安装盘上的若干抓取结构,抓取结构设有可相对转动的活动卡爪,以实现丝网抓取与释放。控制器根据感应元件采集的位置信息,控制各个活动卡爪的开合状态,从而保证在转移过程中能够以适当的夹持力实现可靠夹持,避免过大或过小的夹持力造成丝网形变或损伤,从而提升产品在后续通电加热或静电吸附功能中的稳定性与使用寿命。
技术关键词
抓取结构
转移装置
丝网
活动卡爪
盘面
电磁元件
感应元件
安装盘
图像采集器
静电吸附功能
热压
陶瓷
控制器
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机械臂
半导体设备
参数
特征值
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