摘要
本发明涉及GPP生产技术领域,尤其是涉及一种高效的GPP芯片玻璃钝化层制备工艺。包括制作双沟槽基底,提供PN结的硅片作为基底,所述硅片包括双沟槽以及位于双沟槽四周的金属膜台面;制备玻璃浆料和印刷膜,所述印刷膜包括印刷图案的通透部分,所述通透部分包括与金属膜台面四周对应的区域;对版并涂覆玻璃浆料,将印刷膜与硅片进行对版,在印刷膜上倒入玻璃浆料,用刮刀沿台面的对角线方向将玻璃浆料均匀刮入硅片的沟槽内,得到涂覆有玻璃浆料的硅片;烘干固化与烧结,将涂覆有玻璃浆料的硅片放入高温链式炉内进行烘干,烘干后进行升温烧结。本发明利用低成本的刮涂法,解决了PN结尖角保护以及切割不损坏钝化玻璃的问题。
技术关键词
玻璃浆料
光刻胶
双沟槽
硅片
印刷膜
显影液
四甲基氢氧化铵
印刷图案
芯片
台面
涂覆
丝网
基底
定影液
剥离液
感光胶
胶片
光刻机
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