一种晶圆槽式清洗的喷淋搬运手臂结构及其控制方法

本发明涉及半导体制造领域，尤其是涉及一种晶圆槽式清洗的喷淋搬运手臂结构及其控制方法，其包括夹爪型机械手、自适应喷淋系统及智能控制算法。夹爪型机械手采用双层密封隔膜和柔性夹持臂设计，确保动态密闭与自动适配；喷淋系统通过多级涡流泵和自适应流量调节模块实现精准清洗；智能控制基于改进Dijkstra算法优化搬运路径并动态调整喷淋参数。本申请能够有效降低药液残留与交叉污染，提升清洗效率及工艺可靠性，满足湿法清洗对高洁净度与稳定性的需求。