一种大深径比微孔的光学-光电复合测量装置

本发明公开了一种大深径比微孔的光学‑光电复合测量装置及方法，属于精密光学测量技术领域。所述装置包括：光学成像模块(含同轴光源、高分辨率CMOS相机及12.5倍变倍镜头)、复合运动平台(XY手动位移台与Z向精密电控升降台物理分离)、光电测深模块(光谱共焦探头与成像光轴成45°夹角)、数据融合处理单元。方法包括：通过物理隔离运动平台消除振动干扰，利用空间配准模型同步获取视觉深度ΔZ与光电深度δ，当|ΔZ‑δ|≤0.05mm时输出δ，否则输出加权校正值D＝0.7ΔZ+0.3δ。创新点在于：1)粗‑精分离运动架构(Z台精度≤10μm)2)折叠光路紧凑设计(整机尺寸400×400×500mm)3)偏振抑反光系统(不锈钢表面对比度提升130％)4)双模态深度融合算法。经喷油嘴微孔实测，直径测量误差±1.5μm，单孔检测时间≤3秒，适用于深径比≥5:1的金属/陶瓷微孔批量检测。