衍射图像分析方法、处理方法、装置、设备和存储介质

本申请提供一种衍射图像分析方法、处理方法、装置、设备和存储介质。衍射图像分析方法包括：获取对样品的生长过程采集的多帧衍射图像，衍射图像包含由高能电子束与样品相互作用产生的电子衍射图案；在衍射图像中确定ROI，并获取ROI的图像帧序列和光强时序数据；对ROI的图像帧序列和光强时序数据执行多模态分析，得到分析结果。采用本申请提供的技术方案，可以提升衍射图像分析的准确性。