基于图像处理的智能芯片阵列缺陷检测系统

本发明公开了基于图像处理的智能芯片阵列缺陷检测系统，具体涉及芯片缺陷检测领域，包括芯片阵列图像获取模块、自适应数据增强模块、多模态特征融合模块、自适应动态匹配模块、在线增量学习模块以及异构资源调度模块。基于图像处理的智能芯片阵列缺陷检测系统通过自适应数据增强模块通过跨材料数据集成与约束对抗生成网络技术，将材料应力分布数据集成到缺陷图像生成过程中，提升了对新型芯片材料缺陷模式的泛化能力；通过小波变换提取频域特征、构建缺陷特征与设计规则关联矩阵以及引入局部感受野约束的多头注意力机制，增强了物理先验信息与深度语义信息的融合，提升了对复杂缺陷模式的识别能力，缓解了对大量标注样本的依赖。