一种ESD器件及其制作方法

本发明公开了ESD器件技术领域内的一种ESD器件及其制作方法，一种ESD器件，包括：单晶片，划分第一区、第二区，第二区内设阳极区、阴极区，第一区、阳极区内有轻掺杂N型注入区，在轻掺杂N型注入区上部有轻掺杂P型注入区，在阳极区和阴极区上有重掺杂P型注入阱、重掺杂N型注入阱；玻璃晶圆内有多个通孔分别连通第一区内的轻掺杂N型注入区、轻掺杂P型注入区、重掺杂P型注入阱、重掺杂N型注入阱；阴极金属与各阴极区连接；互连金属与各阳极区及第一区内的轻掺杂N型注入区连接；阳极金属与第一区内的轻掺杂P型注入区连接。该ESD器件通过在ESD芯片阳极串联二极管，降低了器件的结电容，同时提高Vhold值；且采用玻璃晶圆作为介质层，降低了生产成本和生产周期。