一种高精度光栅编码接触式位移测量传感器校准方法

本发明涉及计量技术领域，特别涉及一种高精度光栅编码接触式位移测量传感器校准方法。按照预设网格尺寸对工件表面进行划分，根据工件表面图像识别获取若干个网格区域的若干个表面粗糙度，并获取所述若干个网格区域的若干个表面弧度；对所述若干个网格区域进行聚类，得到多个同类网格区域集；进行测量接触力预测，并根据多个预测接触力进行高度测量误差分析，输出多个预测高度测量误差；通过高精度光栅编码接触式位移测量传感器对工件表面的若干个网格区域进行高度测量，对若干个区域高度测量值进行映射补偿，输出工件高度测量结果。提高了高精度光栅编码接触式位移测量传感器对复杂表面工件的高度测量精度和稳定性。