一种晶圆载具尺寸激光测量装置

本发明公开了一种晶圆载具尺寸激光测量装置，涉及激光测量技术领域，包括测量平台机构，所述测量平台机构包括安装台，所述安装台的正面设置有控制终端，所述安装台内腔的顶部固定连接有安装架，所述安装架的表面固定连接有第一电机。本发明通过水平分布式自适应节点的设置，利用磁吸结构实现灵活部署，配合电动伸缩杆与硅胶接触头，能够自适应贴合载具的立体卡扣、深槽等复杂曲面，水平激光模块结合微型电容传感器，可对传统装置难以检测的垂直面、内凹结构进行多角度扫描，彻底消除测量盲区，实现三维尺寸检测覆盖率的显著提升，同时控制终端集成的智能补偿算法模块内置温度与振动补偿模型，实时修正环境因素对测量结果的影响。