一种晶圆视觉侦测系统及方法

本发明公开了一种晶圆视觉侦测系统及方法，涉及半导体技术领域，包括图像采集单元、光源单元与控制单元。在侦测流程上，由控制单元触发图像采集单元采集图像，配合差异化亮度的光源单元以快速且准确实现晶圆从运输到静止的宏观与微观侦测，突破传统电容传感器仅侦测动态状态的局限，以便捕捉运输震动位移与静止后静态裂纹；侦测原理上，特征提取与异常识别模块基于图像特征分析，摆脱对晶圆导电性和介电常数的依赖，可精准侦测绝缘或低介电常数材料晶圆表面异常，即弥补传统方案因材质受限导致的漏检缺陷，又能实现对静止后静态裂纹或异物等异常的侦测；最后，异常识别后信号输出模块即时输出控制信号，构建侦测‑决策‑执行实时闭环。