可提升石英晶片质量的检测方法

本发明涉及石英晶片质量检测技术领域，具体的说是可提升石英晶片质量的检测方法，通过多模态融合缺陷检测技术、动态自适应缺陷评分体系、基于知识图谱的智能评估模型以及闭环反馈式工艺优化等创新手段，解决现有石英晶片检测方法中模型单一、评分静态、未考虑缺陷位置和严重程度、数据利用不充分等问题，实现石英晶片质量检测从“事后分级”到“事前预防”的跨越，有效提升检测精度和适应性，降低不良率。