多熔融机协同抽真空控制系统及控制方法

本发明提供一种多熔融机协同抽真空控制系统及控制方法，属于石英坩埚制造技术领域，包括主控制器、总抽真空组件、多个分支抽真空组件、多台熔融机；总抽真空组件通过真空主管路分别与多个分支抽真空组件连接，多个分支抽真空组件分别通过熔融机连接真空管与多台熔融机一一对应连接；总抽真空组件包括依次连接的真空泵、第一气动阀、第一比例电磁阀、真空罐、真空总阀；分支抽真空组件包括依次连接的真空比例调节阀、缓冲罐、抽真空阀；设置真空罐，通过控制第一气动阀和第一比例电磁阀以使真空罐内的真空压力保持恒定；在各个分支上设置缓冲罐，通过真空比例调节阀控制缓冲罐内的真空压力保持恒定，从而在石英坩埚熔融过程中形成稳定的真空系统。