摘要
本申请公开了一种微显示芯片结构及制造方法,该微显示芯片结构包括有机支撑衬底,以及依次设置在其表面之上的光转换层、环状光阻隔层、自发光单元等多层结构,各层通过窗口实现互联,还可增设光过滤层提升色纯度;其制造方法通过晶圆预处理、多层结构制备、键合与衬底去除、切割等步骤完成芯片制作;本申请通过自发光单元发射蓝光配合光转换层实现RGB三色显示,简化了RGB集成方式,减少了对巨量转移的依赖,同时利用环状光阻隔层等结构抑制光串扰,降低了生产成本并提升了显示效果,适用于Mi cro LED高集成度显示场景。
技术关键词
发光单元
芯片结构
外延结构
绝缘阻挡层
线路
量子阱发光层
蓝宝石衬底
布线
光刻
硅酸盐磷光体
氮化物磷光体
红光转换层
环氧树脂
多层结构
制作环状
量子点
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