一种干涉测量中考虑多虚拟探测点拟构造和双重解离判定的成分信号的迭代重建方法

本发明涉及一种高精度多表面波长调谐干涉测量信号处理方法，核心在于解决叠加干涉信号解离难题及克服频谱栅栏效应。专利流程包括：构建基于迭代向量与时延虚拟探测点的解离框架；利用近似牛顿法优化迭代过程；设计双重判定解离准则并正交化输出解离结果；对解离信号实施频谱精细分割分析及相位解调函数提取实现谐波频率与相位的高精度求解；并可利用相关系数量化法评价解离质量。该方法能有效分离多表面干涉叠加信号并精确重建关键参数，显著优于传统方法(如FFT)，性能提升约2个数量级。实验验证其面形误差控制于10e‑3量级，频率精度达10e‑4量级，具有优异的鲁棒性和广泛适用性，适用于高精度光学元件检测。