阵列光源超表面投射器件的性能自动检测方法及装置

本发明公开了一种阵列光源超表面投射器件的性能自动检测方法及装置，方法包括：接收初步采集的阵列散斑图像并计算轴向偏移量，根据轴线偏移量发送平移指令至三轴晶圆样品载物台以使阵列散斑精确对中，获取调整后的阵列散斑对中图像并进行掩膜版分割得到图像点阵信息，提取对应的散斑特征信息后对阵列散斑对中图像进行对比度分析，得到散斑对比度信息，将散斑特征信息与散斑对比度信息进行组合作为性能综合检测结果。上述方法，通过计算轴向偏移量并实现散斑的精确对中，通过对比度分析及散斑特征提取，实现对散斑对比度的快速准确计算及散斑特征信息的快速提取，从而获取得到对超表面投射器件进行综合性能检测的性能综合检测结果。