摘要
本发明公开了一种基于深度学习的存储芯片缺陷检测方法及系统,涉及缺陷检测技术领域,该系统运行中,采集访问过程中的干扰行为,建立芯片动态干扰指标,将上述响应行为以多维参数形式整合,生成图谱结构,并融合形成适用于深度模型输入的耦合特征表示,对图谱中微弱图像特征、区域异常结构或控制响应斑点进行识别,输出缺陷区域的位置、类型与置信标记,并以编码方式生成异常记录,将多个时间点的异常记录构建为时间序列,并基于异常活跃度、位置变化趋势和激活频率的指标进行演化趋势建模,输出用于健康等级评估的趋势函数,接收健康等级结果并与控制策略表进行匹配,执行芯片保护、工作状态调整或故障上报操作。
技术关键词
缺陷检测系统
存储芯片
耦合特征
图谱
控制策略
干扰评价单元
反馈控制模块
缺陷检测方法
序列
资源监控
深度卷积网络结构
视频设备
纠错
动态
多任务
频率
指标
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