三同轴四臂传动装置及其控制方法、晶圆搬运机器人

本发明提供了一种三同轴四臂传动装置及其控制方法、晶圆搬运机器人，其中装置包括：下层手臂组件、上层手臂组件、传动组件，其中该下层手臂组件包括：下层手指单元、第一臂杆、第二臂杆，该上层手臂组件包括：上层手指单元、第三臂杆、第四臂杆，该传动组件包括：依次同轴布置的外驱轴、中驱轴、内驱轴；该第一臂杆与外驱轴连接，第二臂杆与中驱轴连接，第三臂杆与第二臂杆交叠连接，第四臂杆与内驱轴连接，该第一臂杆、第二臂杆、第三臂杆、第四臂杆依次层叠布置；一对下层手指单元呈相对布置，分别同时与第四臂杆、第三臂杆铰接，一对上层手指单元呈相对布置，分别同时与第一臂杆、第二臂杆铰接。籍此实现通过三同轴传动组件驱动四臂传动。