一种旋转式组合扫描探针显微镜和测量方法

本发明公开了一种旋转式组合扫描探针显微镜和测量方法，包括镜体外框、第一扫描单元、旋转式探针切换单元和第二扫描单元；第一扫描单元的上端固定在镜体外框的上端并且第一扫描单元的下端为自由端，能够实现三维扫描；旋转式探针切换单元置于镜体外框的下端，包括旋转圆台、倒置安装套筒和第一探针起振架，倒置安装套筒固定在旋转圆台上并与旋转圆台同轴心，第一探针起振架位于倒置安装套筒的上端；第二扫描单元固定在旋转圆台上。本发明可在测试过程中实现探针灵活切换，在一次样品加载中完成多模态测量，特别适用于低温、强磁场等测试准备周期长、成本高的极端环境下，有助于提高测量效率并显著降低测试成本。