摘要
本申请提供的一种OLED芯片的晶圆级封装方法和封装结构,涉及半导体封装技术领域。该OLED芯片的晶圆级封装方法包括提供透光盖板和晶圆;其中,晶圆上设有多个发光区,发光区的外周设有电极,电极和发光区之间有预设间隔。在透光盖板的一侧形成多个凹槽,凹槽的深度小于透光盖板的厚度;多个凹槽之间形成贴装部。键合晶圆和透光盖板;其中,发光区与贴装部一一对应并压合。沿贴装部的边缘切割透光盖板,去除凹槽结构,形成带有透光贴片的晶圆;透光贴片在晶圆上的投影与电极无重合。分切晶圆形成单颗芯片。该方法有利于提高封装效率和封装良率。
技术关键词
封装方法
透光
芯片
封装结构
半导体封装技术
凹槽结构
贴片
电极
喷砂方式
喷砂工艺
蚀刻方式
容胶槽
常温常压
晶圆
压力
真空
良率
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