基于光学衍射成像的高速缺陷识别方法及系统

本发明提供基于光学衍射成像的高速缺陷识别方法及系统，涉及光学技术领域，包括构建包含可编程光学超表面和量子相位调制器的复合光学衍射单元，通过多目标约束函数优化确定调制特性，采集量子编码衍射图像，利用量子态相位重建网络处理图像并提取特征参数，通过缺陷识别模型分析得出结果。本发明实现了高空间分辨率的缺陷快速识别，提高了检测效率和准确性。