一种模块化超导量子芯片及其加工方法

本发明公开了一种模块化超导量子芯片及其方法，属于量子计算技术领域，包括：至少两个超导量子网络模块，每个所述量子网络模块包括：超导量子比特，配置有量子比特读取腔、控制线；浮地电容可调耦合器，配置有浮地电容读取腔、Z线；共面波导阻抗匹配器，为二分之一波长的共面波导腔，其一端与所述浮地电容可调耦合器电容耦合，另一端连接至超导同轴电缆；所述超导同轴电缆连接两个相邻的量子网络模块，通过所述浮地电容可调耦合器间接耦合不同模块中的超导量子比特；本发明的有益效果是：通过使用浮地电容可调耦合器与共面波导阻抗匹配器的设计，有效减少了量子比特之间的耦合损失，使得不同芯片上的量子比特能够高效、低损耗地进行互联。