摘要
本申请涉及一种新型芯片及其成型方法,其包括:主体板,主体板的顶面开设有流道,流道的末端的底部开设有贯穿的出液孔,流道的进液端与外部供液装置连通;顶板,顶板顶面成型有压电结构,顶板贴合于主体板顶面,顶板封堵流道的顶部开口,且压电结构的作用端处于流道的正上方布置;底板,底板上开设有喷射孔,底板贴合于主体板的底面,且喷射孔与出液孔连通,出液孔的横截面面积大于喷射孔的横截面面积,喷射孔在主体板底面的正投影全部落入出液孔内。本申请通过在主体板顶面开设流道,并通过结合顶板封堵流道顶端并作为振动板,从而保证主体板的表明光滑度,从而保证结合质量以及各结构的成型质量。
技术关键词
新型芯片
压电结构
成型方法
横截面面积
限流结构
筛选结构
流道
SOI硅片
供液装置
顶板
底板
压电薄膜层
电极
功能液
振动板
挡块
径流
顶端
系统为您推荐了相关专利信息
河道流量监测方法
融合多源数据
协方差矩阵
水位传感器
三次样条插值法
压缩机钻孔装置
钻孔机器人
传输线
钻孔组件
夹持组件
数控缠绕机
缠绕模具
成型方法
真空袋
无线发射模块
砂砾岩储层
孔隙网络模型
三维灰度图像
三维数字岩心
因子