摘要
本发明提供了一种多功能离子阱芯片快速更换装置,所述系统包括:真空组件,包括能依次连通的第一真空腔、桥接机构以及第二真空腔;传送组件,包括送样机构以及设在其传送端的芯片载板架,所述送样机构与第一真空腔连接,且所述的传送端能依次穿过第一真空腔和桥接机构后将芯片载板架传送至第二真空腔中进行芯片的更换;清洗组件,包括与第一真空腔连接的清洗腔体以及设在清洗腔体上的进气阀门,通过进气阀门,能向清洗腔体中通入清洗气体;更换组件,包括转接机构,所述转接机构设于第二真空腔内,用于转接芯片载板架上的芯片。本发明有效地对待测的离子阱芯片进行快速更换。
技术关键词
真空腔
离子阱
更换装置
送样机构
桥接机构
转接机构
闸板阀
清洗组件
传送组件
进气阀门
量子计算机
锁紧组件
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