一种用于半导体设备真空系统的简易检漏方法

本发明公开了一种用于半导体设备真空系统的简易检漏方法，半导体设备内设置有控制系统，真空系统包括工艺气体管路、真空腔体、抽气管路、真空计、阻抽阀、真空泵、MFC、源瓶、手阀、隔膜阀、ALD阀、N2管路、O3管路，所述控制系统嵌入漏率测试的逻辑控制程序及算法，并对真空系统的各元件进行控制和数据采集，漏率测试的结果通过漏率测试界面展示。本发明通过控制系统直接读取设备真空计的数据，降低漏率计算的误差。