基于图像处理的IC载板生产监测方法、系统、设备及介质

本发明涉及图像识别技术领域，具体提供一种基于图像处理的IC载板生产监测方法、系统、设备及介质，包括：获取IC载板的内层图形的多模态图像；利用图像模态类型对应的特征提取方法，从多模态图像提取多维特征；以每个采样像素点为图节点，以采样像素点对应的多维特征为图节点属性，基于图节点的空间邻接关系及特征关联关系构建内层图形的特征拓扑图；将所述特征拓扑图输入预训练的图卷积神经网络模型，根据图卷积神经网络输出的节点缺陷概率，生成内层图形的缺陷分布热力图及分类结果。本发明通过融合荧光衰变‑相位畸变‑偏振态偏移特征，降低了缺陷误报率。