基于高速闭环控制的自适应光学畸变补偿装置与补偿方法

本发明公开的一种基于高速闭环控制的自适应光学畸变补偿装置与补偿方法，其中装置包括：光路前端接口，用于接入耦合风洞或激光发射系统；波前传感器，用于采用分布式阵列测量局部波前斜率；FPGA控制器，包括波前重建处理器和闭环逻辑控制器，用于重建波前和生成控制指令；MEMS变形镜阵列，包括若干MEMS驱动器，用于校正波前相位；反馈监测模块，用于通过形变电容测量和CCD图像反馈进行双重验证；成像/激光输出端，用于将校正后的光信号转换为图像进行输出。本发明可广泛应用于高速飞行器风洞测试、激光通信、红外成像引导头标定与高能激光束整形等领域，引入可编程硬件平台、高速并行运算结构与预测型控制算法，实现了前所未有的亚微秒级闭环补偿。