面向晶圆传输机器人的多模态实时避障方法及系统

本发明涉及机器人避障技术领域，尤其涉及一种面向晶圆传输机器人的多模态实时避障方法及系统，方法包括：通过多模态数据采集装置实时采集环境数据，得到多模态环境数据；对多模态环境数据进行时空对齐，建立工作空间地图；收集动态障碍物的运行数据，将运行数据输入构建的轨迹预测模型进行轨迹预测，得到轨迹预测结果；对晶圆传输机器人进行路径规划，生成最优避障路径；对最优避障路径进行验证，输出最优避障路径至运动控制器执行。通过本发明，有效解决了晶圆搬运机器人在动态环境中避障能力不足的问题，有效避免晶圆在搬运过程中因碰撞而产生的损伤，提升了晶圆搬运机器人在复杂生产环境中的操作精准性与安全性。