摘要
本发明提供了一种基于图像处理的芯片缺陷检测方法及系统,涉及芯片缺陷检测技术领域,方法包括:获取芯片的原始表面图像;对原始表面图像进行灰度处理,得到灰度表面图像;结合非对称拉普拉斯混合模型和连通域标记算法,提取灰度表面图像中芯片的多个引脚区域;判断引脚区域的数量是否与芯片的引脚数量相同;若是,进入下一步;否则,确定芯片存在引脚数量不匹配缺陷;通过归一化互相关算法,提取灰度表面图像中芯片的主体区域;对各个引脚区域与主体区域进行整合,得到芯片的待检测区域图像;构建基于深度学习算法的芯片缺陷检测模型;将待检测区域图像输入至芯片缺陷检测模型,输出芯片的缺陷检测结果。
技术关键词
芯片缺陷检测方法
上采样
图像处理
双线性插值
模块
融合特征
像素
图像模板
拉普拉斯
坐标
OSTU算法
特征融合网络
深度学习算法
可读存储介质
粗略
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