一种MEMS芯片散热器

本发明公开了一种MEMS芯片散热器，包括驱动电源、框架和设于所述框架上的盖板，所述框架上设有摆片和进风口，所述摆片上设有第一导电层，所述盖板上设有出风口且内表面设有第二导电层，所述第二导电层与所述第一导电层对应布置，所述驱动电源连接所述第一导电层和所述第二导电层，并通过静电驱动方式驱动所述摆片振动在谐振状态。本发明将传统的散热风扇压缩到芯片级别，可以将其安装于紧凑型移动设备中，通过简单的静电驱动，使得摆片振动在谐振状态，摆片驱动摆片周围的空气流动，促进热交换，将被冷却的芯片上的多余热量带走，整体结构简单，体积小，运行时的噪音小，冷却效果好。