基于双模态生成对抗网络的碳化硅长晶设备故障诊断方法

本发明涉及碳化硅长晶设备故障诊断技术领域，具体涉及基于双模态生成对抗网络的碳化硅长晶设备故障诊断方法，包括：构建原始故障数据集；采用故障标签将故障类型标记为常见故障类型和稀疏故障类型，构建双模态生成对抗网络，引入碳化硅晶体生长的多物理约束，输出增强故障数据集；引入传感器网络维度卷积网络，构建故障分类模型；引入传感器权重初始化引导机制和晶体生长物理关系强制学习机制，游进式训练故障分类模型；输出故障类型诊断结果；能够解决碳化硅长晶设备故障数据稀缺、多传感器时空特征难以有效建模以及故障识别精度不高的诊断难题，具有推理速度快、模型轻量化的优势。